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　　亚微米量级二维图形缺陷和三维尺度测量检测

　　产品特点

　　高速度、高精度先进封装的二维缺陷检测系统和三维尺度测量系统

　　多模式的明暗场多角度的照明系统，智能缺陷检测和分类的检测模式

　　应用领域

　　晶圆芯片上的图形缺陷检测

　　晶圆芯片上的三维尺度扫描

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集成电路