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深圳中科飞测科技有限公司院士(专家)工作站简介

来源:暂无    时间:2018-01-12    点击次数:1328

深圳中科飞测科技有限公司(以下简称“中科飞测”)院士(专家)工作站(以下简称“工作站”)经深圳市科学技术协会批准于2017年成立,成为深圳市首批院士(专家)工作站。工作站由中科飞测与中国工程院刘文清院士共建,坐落在龙华紫荆双创园飞测楼。

                                   

工作站现已与中国工程院刘文清院士专家建立合作关系,通过与院士专家开展科技合作和联合攻关,带动了产业内部一批科技人才的成长,为增强企业科研力量、提升企业核心竞争力奠定了坚实的基础。工作站以充分发挥院士、专家的技术引领作用,帮助企业培育科技创新团队,集聚创新资源,突破关键技术制约,推动产学研紧密合作,研究宽光谱信号分析和检测技术应用到中科飞测的集成电路晶圆表面三维形貌白光干涉纳米精度测量设备研发,面向集成电路制造装备的纳米级超精密测量需求,对于高密度晶圆级先进封装工艺如2.5D/3D堆叠、TSV深孔封装技术中,高深宽比孔底膜厚测量、晶圆表面薄膜测量及晶圆表面形貌测量的检测需求,实现微米,亚微米及纳米级测量精度。